快速掃描探針顯微鏡（ScanningProbeMicroscope，SPM）是一種高分辨率的顯微鏡，能夠實現(xiàn)對樣品表面的原子級成像和表征。采用探針在樣品表面掃描的方式，通過測量探針與樣品之間的相互作用力來獲取表面拓撲和性質信息。
1.原子力顯微鏡（AFM）：通過探測探針與樣品表面之間的范德華力、靜電力、化學鍵力等相互作用力，實現(xiàn)對樣品表面形貌和力學性質的高分辨成像。
2.掃描隧道顯微鏡（STM）：利用量子隧道效應，通過測量探針與樣品表面之間的電子隧道電流來實現(xiàn)對樣品表面原子級拓撲和電子性質的成像。
應用領域：
1.納米材料研究：用于表征納米材料的結構、形貌、力學性質等，為納米材料的設計和制備提供重要信息。
2.生物醫(yī)學：用于觀察生物分子、細胞和組織的微觀結構，研究生物分子的相互作用和生物表面的性質。
3.表面科學：用于研究表面吸附、腐蝕、生長等過程，揭示表面結構和性質對材料性能的影響。
4.納米電子學：用于研究納米器件的電子輸運性質，開發(fā)新型納米電子器件。
快速掃描探針顯微鏡相比傳統(tǒng)顯微鏡具有以下優(yōu)勢：
1.高分辨率：能夠實現(xiàn)原子級甚至亞原子級的成像，揭示樣品表面的微觀結構。
2.非破壞性：不需要對樣品進行特殊處理，可以在常溫、常壓下進行表征，不會破壞樣品。
3.多功能性：可實現(xiàn)表面形貌、力學性質、電子性質等多方面的表征，適用于不同類型的樣品。
4.操作簡便：相對于傳統(tǒng)顯微鏡，操作相對簡單，易于使用。
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