HR-AFM多功能掃描探針顯微鏡是一款專業(yè)級的原子力顯微鏡，Z軸噪音低于30pm。該設備可以在不破壞樣品內部結構的情況下觀測樣品微區(qū)三維形貌和多相結構；同時可對樣品表面物理化學特性進行研究，數值測定與分析。

國內生產的HR-AFM原子力顯微鏡

標準工作模式：輕敲模式(Vibration mode)，接觸模式 (Contact mode)，相位成像模式 (Phase imaging)，橫向力模式 (LFM)，力曲線測試（Force Curve），納米操控 （Nanomanipulation），納米刻蝕 （Nanolithography），力矩陣模式 （Force Mapping），摩擦力測試 （Friction Mode）

可選工作模式：導電原子力顯微鏡 （C-AFM），磁力顯微鏡（MFM），靜電力顯微鏡（EFM）,掃描電勢顯微鏡（SKPM），液相模式 (Liquid Mode)，壓電力顯微鏡模式(PFM Mode)。

多功能掃描探針顯微鏡具有軟件自動進針功能。通過軟件控制Z方向馬達實現探針自動進針

X,Y,Z三軸分離的掃描器。

掃描范圍 100×100×17μm

Z軸分辨率0.03nm

樣品臺尺寸：25mm*25mm*18mm

操作軟件：使用Laview環(huán)境語言控制，免費提供操作軟件，并提供維護及升級

提供Gwyddion IMAGE ANALYSIS SOFTWARE 數據分析系統(tǒng)

頂視系統(tǒng)光學分辨率≤2微米

視場范圍從2mm*2mm到300um*300um可調，放大倍率從45倍到400倍機械可調

側視系統(tǒng)，提供可視化下針，可以通過電腦精確觀察控制下針過程，防止撞針