spm掃描探針顯微鏡是一款專業級的原子力顯微鏡，Z軸噪音低于30pm。該設備可以在不破壞樣品內部結構的情況下觀測樣品微區三維形貌和多相結構；同時可對樣品表面物理化學特性進行研究，數值測定與分析。

國內生產的HR-AFM原子力顯微鏡

標準工作模式：輕敲模式(Vibration mode)，接觸模式 (Contact mode)，相位成像模式 (Phase imaging)，橫向力模式 (LFM)，力曲線測試（Force Curve），納米操控 （Nanomanipulation），納米刻蝕 （Nanolithography），力矩陣模式 （Force Mapping），摩擦力測試 （Friction Mode）

可選工作模式：導電原子力顯微鏡 （C-AFM），磁力顯微鏡（MFM），靜電力顯微鏡（EFM）,掃描電勢顯微鏡（SKPM），壓電力顯微鏡模式(PFM Mode)，液相模式 (Liquid Mode)。

spm掃描探針顯微鏡具有軟件自動進針功能。通過軟件控制Z方向馬達實現探針自動進針

X,Y,Z三軸分離的掃描器

掃描范圍 100×100×17μm

Z軸分辨率0.03nm

樣品臺尺寸：25mm*25mm*18mm

操作軟件：使用Laview環境語言控制，免費提供操作軟件，并提供維護及升級

提供Gwyddion IMAGE ANALYSIS SOFTWARE 數據分析系統

頂視系統光學分辨率≤2微米

視場范圍從2mm*2mm到300um*300um可調，放大倍率從45倍到400倍機械可調

側視系統，提供可視化下針，可以通過電腦精確觀察控制下針過程，防止撞針